MENU

SEMICONDUCTOR EQUIPMENT BUSINESS半導体機器事業について

塗布現像装置を主体に多種多様な装置に対して、延命化、機能追加などのご提案をさせていただいております。

今般、アナログデバイス、MEMS、パワー半導体、RFデバイス、ディスクリート品、センサーといった半導体製品の多くは
1980年~2000年頃までに製造された200mm以下のウェーハを処理する半導体製造装置で製造されています。
この世代の装置はレガシー装置とも呼ばれ、使用部品の生産中止やメーカーサポート終了に伴い、稼働が出来なくなっている装置も出てきています。
弊社は設立以来、お客様所有装置に対して保守サポートや改造提案など、様々な取り組みを行って参りました。
そのなかで培ってきた技術やノウハウを駆使して、これからもお客様所有装置を延命化出来る様、務めて参ります。
柔軟に対応致しますので、メーカー、機種問わず、お気軽にお問い合わせください。

主な事業内容MAIN BUSINESS CONTENTS

お客様所有装置

現地メンテナンス・サービス

お客様設備の保守点検、オーバーホール、
トラブルシューティングなど経験豊富なエンジニアが
サービスサポートいたしております。

代替部品開発

ACサーボモーター
ACサーボモーター
主な仕様

  • AC200V 300W
  • 吸着用中空シャフト

回転精度、安定性確認など従来品同等性能確認済

複数メーカー存在する従来品からの置き換え対応

DC電源
DC電源
主な仕様

  • W170xD320xH320mm
  • DC5V/12V/24V出力

従来品との完全互換

引き取り修理

サーキュレーター
サーキュレーター
主な修理項目

  • ポンプ、測温抵抗体交換
  • ペルチェ素子、フロースイッチ交換

修理後は弊社指定項目に基づき出荷検査を実施

改造・オプション提案

薬液供給システム
薬液供給システム
主な仕様

  • 2タンク自動切換方式
  • 各種薬液対応可能

お客様使用環境に応じて
カスタマイズ対応可能
キャビネットでの提供や
複数台設備の集中供給キャビネットの製作も可能

薬液流量監視システム
薬液流量監視システム
主な仕様

  • クランプ超音波センサー(レジスト対応可)
  • ロギング、データ転送可能

PLC制御による監視システムとしてお客様設備への適用が可能
※アラーム、インターロック取り込み

代替装置提案

代替装置提案

老朽化等、新プロセスを既存装置で対応できない場合、ご要求に応じた仕様を検討します。